【摘要】：針對多通道柔性神經微電極的設計及制作，研究了微電極的加工工藝。采用一種新型的柔性聚合物材料——聚對二甲苯(parylene C)作為微電極的基底和絕緣材料，借助微細加工技術，制作了36通道(按6×6矩陣排列)的柔性神經微電極，微電極的尺寸分別為Φ150μm(圓形)和150μm×150μm(方形)，電極引線線寬為30μm。


無論微電極為圓形或方形，表面均平整光滑、輪廓清晰。電學性能測試結果表明，1 kHz時微電極的阻抗僅為7 kΩ左右，且隨著頻率的增加，阻抗逐漸降低，呈明顯高通特性。微電極加工質量較好，電學性能優良，實現了微電極和柔性基底的集成，有利于高效率批量制作，為視覺假體中柔性神經接口的研制奠定了基礎。